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    管式炉(T max 1300℃)

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-炉类设备

    产品品牌

    Facerom

    发货期限:

    15天

    库       存:

    100

    产       地:

    中国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:Facerom

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-炉类设备

     管式炉(T max 1300)

    采用进口陶瓷纤维绝热材料隔热,进口KTL电阻丝内嵌式环绕加热,温场均匀,使用寿命长,高纯刚玉管作为炉膛,洁净度高。可获得不同的真空,也可实现多种工艺气体控制。是理想的科研实验设备。

    特点

    ► 工作温度RT~1200℃。

    ► 炉管管径40mm~80mm可选。

    ► 温区个数1~3个可选。

    ► 程序控温仪,智能逻辑PID算法,控制精准。可编辑、储存并调用多段程序,无需重新设置,操作简单。

    ► 炉壳结构,双层炉壳风冷结构。

    ►不锈钢双层密封法兰,进、出气阀采用美标针阀

    ► 两端可调节式法兰支撑结构,延长刚玉炉管使用寿命。

    ► LED高强度抗破坏全不锈钢按钮,经久耐用。

    ► 超温保护功能,当温度超过允许设定值自动断电。

    ► 安全保护当炉体漏电时自动断电。

    ►额外选配:炉内测量系统(氧含量检测系统、温度检测系统);

    真空系统(旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组);

    气氛系统(浮子流量计、质量流量计);

    监控系统:(温度记录仪、触摸屏远程监控);

                  注:选件需配置拓展柜体;

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