应用方向：高校微电子教学及科研、实验室芯片失效分析
测试器件类型：光电芯片、GaN芯片、RF芯片、有机器件、OLED等
测试参数：IV,CV,S参数，阻抗参数
配合仪器：B1500A半导体器件分析仪,B2900A 源测量单元,E4980A LCR表,E5071C阻抗分析仪，N5245A矢网等
MPS150A是专用的探针台解决方案，适合需要在短的时间内精确 对半导体元器件及材料、晶圆片进行IV/CV测试的用户使用。结合半导体器件分析仪可作为实验室的器件分析测试平台。
MPS150A 探针台为保护样片测量周期内高质量的接触，通过非常 稳定的系统平台设计，完美的振动隔离方案，能够让用户取得想要 的测量精度。工业标准探针座经过优化光学和无反向间隙X-Y-Z移 动，接触分离驱动达到1μm重复性，相对于半自动探针台探针座摆 放更加精密。高质量的三同轴信号线缆保证测试特性电流达到fA级别低噪声。
载片台可提供加热变温选件，让器件测试更加容易。载片台采用快速推拉式设计, 可单手调节操作, 高度平整的表面及可 移动性，让初学者和用户容易操作上手
该探针台设计具有可升级和扩展性，例如可升级阻抗测量（配合阻抗分析仪),电容测试可达fF级别。保护用户的一次性投资
咨询
请问是你们的对正系统技术是OTS，QPU和TTG的哪种？
chuck尺寸能测哪些规格的晶元？X-Y移动行程多少？
技术指标:
可测试Wafer尺寸：2英寸~6英寸
Chuck XY向行程：160mm*160mm
Chuck移动分辨率：旋钮调节
Chuck旋转范围： ±5°微调，360°粗调
Chuck Z向接触分离：1mm
Chuck 真空： 分三档输入
台面Z向行程：25mm,接触分离1mm
上下片方式：快速抽拉上下片
视频显示系统：双目体式显微镜标配(45X)LED环形灯, 选配CCD工业相机，实时芯片图像
显微镜机构调节:XY向±25mm，Z向±35mm
遮光屏蔽罩：选配
探针：直流钨针、射频微波探针
探针座：精密千分尺结构，X,Y,Z三向可调节，磁力座
外形尺寸：610mm×560mm×500mm（长×宽×高）
设备重量: 约40 KG
使用环境：电源220VAC，功率0.05kW，真空-80kPa，环境温度15ºC~30ºC，相对湿度＜60%
装箱清单
MPS150A 6英寸精密手动探针台主机
SR-SCOPE 双目体式显微镜90X（可选配金相显微镜）
SR-CCD 工业相机CCD，选配
SR-VP 进口静音真空泵
SR-T100DC 精密直流磁吸附探针座,线性解析2μm
SR-T60DC 精密直流磁吸附探针座,线性解析0.7μm
SR-T60RF 精密射频微波磁吸附探针座，带射频仰角机构
SR-TTH 低漏电直流探针杆，带Triax线缆
SR-GGB-DC 直流钨针，针尖直径1μm到20μm可选
SR-GGB-RF 射频微波探针，DC-40GHz/67GHz/110GHz
SR-PCA 探针卡适配器
SR-300C 变温控制台
SR-SB 遮光屏蔽罩
SR-VT 防震桌，根据尺寸要求定制光学防震平台
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