MPI 手动直流/射频探针台_手动探针台_电学性能测试_半导体测试设备_设备馆

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MPI 手动直流/射频探针台

MPI TS150、TS200、TS300每一款都包含许多令人兴奋的功能, 使日常操作更简单、直观、方便, 同时确保了高精度测量。

Unique Platen Lift with Probe Hover Control 具有探头悬停控制的独特控制技术

测量精度首先取决于接触质量。高度可精准重复的 (1 um精度) 针座台设计与三个独立的档位划分：接触（0μm）、分离 (300 um) 和载片 (3 um) 与安全锁设计是目前市面上绝无仅有的功能。这些功能防止意外损坏探针或晶圆, 同时提供直观的控制和准确的接触定位,这种能力在高频和大功率应用中尤其重要, 以达到最准确的测量结果。

对于 TS200 和 TS300,还可以额外提供带有悬停高度 (50,100 或 150 um)的装置, 可轻松方便地使探针与待测样品电极对齐。

Height Adjustment Scale 高度精调设计

针座台有25mm 的精细高度调整, 可以应对各种应用. 1mm 精确刻度给出了探针离开样品的直接位置反馈。

Compact and Rigid Platen Design 紧凑、灵活的针座台

紧凑、灵活的针座台可容纳多达10组直流或4组射频针座，可满足各种应用要求。

Various Chuck Potions 丰富的样品台规格选择

手动系统可用各种卡盘选项来满足不同的预算和应用要求. 卡盘选项包括 MPI 的同轴或三轴样品台或各种ERS高低温卡盘, 以支持高达300度的温度测量。
并包含无缝集成的加热台控制器, 方便快捷的阅览和操作。