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SCG-C-2(闭循环)/SCG-O-4/SCG-O-2(开循环)特点：
•载物Chuck 温度范围：4.2K-450K
•外置4个定位针臂，预留2个
•探针X-Y-Z三方向移动，行程：25mm， 定位精度：10微米
•最多可以外置6个定位针臂
•载物chuck 尺寸4英寸(可x-y移动)
•双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试 精度
•针臂定位精度可以升级为0.7微米
•极限真空到10-5 Pa
•可以选择射频配件做最高67 GHz的射频 测试
•可以选择防震桌
•可以选择超高真空腔体
•客户订制
特点
•可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~450K） 可升级加载磁场
•防辐射屏设计，样品温度均匀性更好 支持光纤光谱特性测试
•兼容高倍率金相显微镜，可微调移动 器件的高频特性(支持最高67GHz频率)
•探针热沉设计 LD/LED/PD的光强/波长测试
•自动流量控制 材料/器件的IV/CV特性测试
