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    供应 鹏城半导体 电子束蒸镀机 非标定制 真空度高、抽速快

    库       存:

    999

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-镀膜设备-电子束蒸发

     电子束蒸镀机(高真空电子束蒸发镀膜机)是在高真空条件下,采用电子束轰击材料加热蒸发的方法,在衬底上镀制各种金属、氧化物、导电薄膜、光学薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬膜等;可镀制混合物单层膜、多层膜或掺杂膜;可镀各种高熔点材料。

    可用于生产、科学实验及教学,可根据用户要求专*门订制。

    可根据用户使用要求,选配石英晶体膜厚自动控制及光学膜厚自动控制两种方式, 通过PLC 和工控机联合实现对整个镀膜过程的全程自动控制, 包括真空系统、烘烤系统、蒸发过程和膜层厚度的监控功能等,从而提高了工作效率和保证产品质量的一致性和稳定性。

     

    设备特点

    设备具有真*空度高、抽速快、基片装卸方便的特点,配备 E 型电子束蒸发源和电阻蒸发源。PID自动控温,具有成膜均匀、放气量小和温度均匀的优点。

    可根据用户使用要求,选配石英晶体膜厚自动控制及光学膜厚自动控制两种方式,通过PLC和工控机联合实现对整个镀膜过程的全程自动控制,包括真空系统、烘烤系统、蒸发过程和膜层厚度的监控功能等,从而提高了工作效率和保证产品质量的一致性和稳定性。

     

    真空性能

    极限真空:7×10-5Pa~7×10-6Pa

    设备总体漏放率:关机12小时,≤10Pa

    恢复工作真空时间短,大气至7×10-4Pa≤30分钟;

     

    设备构成

    E 型电子束蒸发枪、电阻热蒸发源组件(可选配)、样品掩膜挡板系统、真空获得系统及真空测量系统、分子泵真空机组或低温泵真空机组、旋转基片加热台、工作气路、样品传递机构,膜厚控制系统、电控系统、恒温冷却水系统等组成。

    可选件:膜厚监控仪,恒温制冷水箱。

     

    热蒸发源种类及配置

     

     E 型电子束蒸发系统  1套  

     功率  6kW~10kW  其它功率(可根据用户要求选配)

     坩埚  1~8只  可根据用户要求选配

     电阻热蒸发源组件  1~4套  (可根据用户要求配装)

     

    电阻热蒸发源种类

    -钽(钨或钼)金属舟热蒸发源组件

    -石英舟热蒸发源组件

    -钨极或钨蓝热蒸发源组件

    -钽炉热蒸发源组件(配氮化硼坩埚或陶瓷坩埚)

    -束源炉热蒸发组件(配石英坩埚或氮化硼坩埚)

     

    操作方式

    手动、半自动


    1-3-6-3-2-7-5-0-0-1-7

     

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