晶体管参数测试仪半导体分立器件测试系统SC2020_电学性能测试_半导体测试设备_设备馆

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SC2020晶体管参数测试系统

系统概述

SC2020晶体管参数测试系统是我司自主研发的半导体分立器件电学参数测试的专用设备，主要用于半导体器件生产厂家进行圆片中测或封装成测，各类整机厂家、科研院所的质量检测部门IQC进行来料检验，研发部门进行失效分析、选型配对、可靠性分析测试。

系统为桌面放置的台式机结构，由测试主机和程控电脑两大部分组成。外挂各类夹具和适配器，还能够通过Prober接口、Handler接口可选（16Bin）连接分选机和机械手建立工作站，实现快速批量化测试。通过软件设置可依照被测器件的参数等级进行自动分类存放。能够极好的应对“来料检验 ”“失效分析 ”“选型配对 ”“量产测试 ”等不同应用场景。

系统软件基于Labview平台开发，填充式菜单界面，带自动纠错功能，可进行器件参数的分档、分类编程，并可实时显示和记录分档、分类测试结果，测试结果和统计结果均可以EXCEL格式存贮于计算机中，根据需要可以打印输出。

系统特点

◆ 系统采用大规模32位ARM&MCU设计

◆ 可测试7大类26分类的电子元器件

◆ 程控高压源1400V，提供2000V选配

◆ 程控高流源40A，提供100A,200A,500A 选配

◆ 控制极电压可达40V，电流可达100mA

◆ 系统数据采集采用16位ADC，1M/S采样速率

◆ 测试漏流最小分辨率达1.5pA

◆ 四线开尔文连接保证加载测量的准确

◆ Prober接口、Handler接口可选（16Bin）

◆ 连接分选机测试量为每小时1万个

◆ 可为用户提供丰富的测试适配器

◆ 可选配测试结电容，诸如Ciss，Crss，Coss；

◆ 系统符合《GJB128半导体分立器件试验方法》等相应的国军标及国际标准。

系统指标

? 技术指标

系统功能模块	量程	分辨率	精度
低压源（FV）	0～±40V	1uV	±0.1%
低流源（FI）	0～±100mA	1pA	±0.1%
高压源（HVS）	0～±1400V/2000V	1mV	±0.5%
高流源（HIS）	0～±40A/100A/200A/500A	1uA	±1%
电压测量(MV)	0～±1400V/2000V	1uV	±0.1%
电流测量(MI)	0～±40A/100A/200A/500A	1pA	±0.1%

? 测试能力

器件种类	测试参数
二极管类 (含TVS SBD ZENER整流桥)	BVR、IR、VF、VZ、RZ、ZZ、Vrrm、Irrm、Tr（选配）
三极管	BVCBO、BVCEO、BVCES、BVEBO、HFE、ICBO、ICEO、ICES、IEBO、VBESAT、VCESAT、VBE、选配（Ciss、Coss、Crss）
可控硅/双向可控硅	IGT、VGT、VTM、VDRM、VRRM、IH、IL、IDRM、IRRM
场效应管	VGSTH、IDSS、BVDSS、VDSON、IGSS、VSD、VGSON、IDON、RDSON、GFS、选配（Ciss、Coss、Crss）
IGBT	BVCES、BVGES、ICES、IGES、VCESAT、VGETH、VCEON、VGEON、VF、ICON、选配（Ciss、Coss、Crss）
压敏电阻	VRRM、VDRM、IRRM、IDRM、Cka
光耦	VF、IR、BVCEO、VF、IR、BVCEO、BVECO、ICEO、CTR、VCESAT、选配（Tr、Tf）
三/四端稳压器	Vout、Iin、IB、VD、Max_lo、Ro
继电器	Vf、Ir、Vl、Il、Ift、Ron、选配（Ton、Toff）
功率驱动器、高边功率开关	Vbb(AZ)、Von(CL)、Rson、Ibb(off)、Il(lim)、Coss、Fun_pin_volt、lvs(off)、lvs(on)、Rson_h、Rson_l、lin、Iinh、ls_Volt、Sr_volt
电压保护器	Vrrm、Vdrm、Irrm、Idrm、Cka、△Vr
基准IC模块	Vref、 △Vref、lref、Imin、loff、Zka、Vka
传感监测类	电流传感器（ACS712XX系列、CSNR_15XX系列）（选配）；霍尔器件（MT44XX系列、A12XX系列）（选配）；电压监控器（选配）；电压复位IC（选配）；

应用领域及场景

>测试分析(功率器件研发设计阶段的初始测试)

>失效分析(对失效器件进行测试，查找失效机理。以便于对电子整机的整体设计和使用过程提出改善方案)

>选型配对(在器件焊接至电路板之前进行全部测试，将测试数据比较一致的器件进行分类配对)

>来料检验(研究所及电子厂的质量部(IQC)对入厂器件进行抽检/全检，把控器件的良品率)