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    FUTURE系列三坐标测量机

    应用于半导体行业:

    半导体测试设备-表面形貌测试-其他

    库       存:

    100

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

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    面议
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    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体测试设备-表面形貌测试-其他

      

    FUTURE系列三坐标测量机

     整体结构设计采用有限元分析技术,配备独特小孔节流式空气轴承的气垫设计,大大减少了环境对测量机的影响。三轴均采用齿形带传动和无摩擦气浮导轨,使得各轴运动平稳精确,适合多种测量场合。

    机型的特点
     
    工作台固定,采用桥式移动结构;
    三轴导轨均为花岗岩材料结构件,具有膨胀系数低,变形小的特点,使测量机精度更加稳定;
    三轴均采用齿形带传动,使得各轴运动平稳精确;
    三轴均为无摩擦气浮导轨;
    独特小孔节流式空气轴承的气垫设计,其性能稳定、承载能力强,从而保证各向导轨的承载和导向精度,确保整机运动的刚性和测量空间的精度;
    独特的平衡气缸设计,使Z轴上下运动时阻力大大减小,提高了运动平稳性,从而保证了测量精度;
    开放式Z轴结构使安装维护更方便;
    模块化设计可满足用户特殊定制要求。
    可选配温度补偿系统。
     
     

      

     


    工作环境要求
    测量机室的温度:20℃±2℃;测量机室的湿度:25%-75%
    测量机周围环境的最大温度梯度: 1℃/h , 1℃/m
    机械振动:
    频率0.2—2 Hz,振幅<5×10-6m
    频率2—20 Hz,速度<50×10-6m/s
    频率20—200 Hz,加速度<5×10-3m/s2
     
    供气系统:
    最小供气压力:0.6 Mpa 耗气量:0.2 m3/min 气管外径:Φ6 mm
    供电系统:
    功耗:3 kw 电压:220 v±5%  频率:50 Hz
    电流:15 A
    专用地线电阻≤5 Ω

     

     

     

     

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