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瑞典MYCRONIC世界领先的光刻机
Prexision-800.Prexision-800.Prexision-8/10

Prexision-800， Prexision-80， Prexision-8/10

为未来显示领域的标准而生

现在我们每天都在使用的都是先进的显示技术。从数字标牌和电视机，到智能手机和平视显示器，Prexision系列光刻机在这次技术革命中发挥着关键作用。全世界制造商的先进平板显示器都在使用Prexision系列光刻机。这是消费者可找到的分辨率最高的屏幕。

主要优势

提高分辨率 25%

更佳的贴片性能 70%

更快的写入速度20%

Prexision-800

显示器行业显示出快速的技术发展趋势，像素点越来越小，趋向采用复式显示器技术，例如AMOLED。这种趋势需要更复杂的像素设计和更多的内部像素模式。

Prexision-800旨在支持搭配最先进显示器的节能产品，如：搭配4K显示屏的智能手机。Prexision-800分辨率提高了25%，这一新的分辨率标准，不仅极大改善了均匀性，并且在不影响生产效率的情况下即可实现更佳的图形拟真度，这无疑会使显示器制造商大大获益。

Prexision-80

Prexision-80是为智能手机和平板电脑显示屏，达到第8代尺寸的面板不断增长的像素密度的光掩膜需求而设计的。对于最高分辨率的AMOLED和LCD，Prexision-80的光掩膜质量是无与伦比的。我们的Prexision-80全局和局部的贴片性能更高70%，将光掩膜的质量带到了新的高度。

Prexision-8/10

Prexision-8和Prexision-10是非常适合批量生产先进的TFT-LCD光掩模。Prexision-8可支持的光掩模尺寸符合第八代面板的需求，并且Prexision-10可支持第十代面板。Prexision-8/10利用双重写入模式可提高20%的写入速度，这将有助于您优化吞吐量，质量也将取决于面板尺寸。

技术指标

	Prexision-800		Prexision-80
模式	HA	HT	HA	HT
最小值 L/S 已解决[pitch/2]	550	850	750	1000
关键尺寸精度[nm]	15	20	30	35
掩膜组套合3σ[nm]	75	100	75	100
写入速度[mm²/min]	900	1200	900	1200
最大掩膜尺寸[mm]	1400 x 1620		1400 x 1620

	Prexision-8		Prexision-10
模式	HA	HT	HA	HT
最小值 L/S 已解决[pitch/2]	750	1000	750	1000
关键尺寸精度[nm]	70	85	70	85
掩膜组套合3σ[nm]	90	120	90	120
写入速度[mm²/min]	900	1200	900	1200
最大掩膜尺寸[mm]	1400 x 1620		1700 x 20