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    俄罗斯 Optosystem准分子激光器CL7000

    产品品牌

    俄罗斯 Optosystem

    库       存:

    1

    产       地:

    中国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:俄罗斯 Optosystem

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-光刻设备-其它光刻设备

     

    准分子激光器: CL7000,   俄罗斯 Optosystem

          准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。


    CL7000系列技术参数:

    型号

    ArF

    KrF

    XeCl

    波长

    193 nm

    248 nm

    308 nm

    管材料

    陶瓷

    预电离

    火花

    标准脉冲能量

    250 mJ

    400 mJ

    300 mJ

    平均功率
    CL 7020
    CL7050
    CL 7100


    5 W
    10 W
    20 W


    8 W
    20 W
    35 W


    6 W
    15 W
    25 W

    最大重复频率
    CL 7020
    CL 7050
    CL 7100


    20 Hz
    50 Hz
    100 Hz

    脉宽

    17 ns

    20 ns

    20 ns

    脉冲稳定度

    sigma < 2%

    光斑大小

    6 x 20 mm

    6 x 21 mm

    7 x 22 mm

    光束发散角

    1.5 x 4.5 mrad

    时间抖动

    < 2 ns

    尺寸, (重量)

    1350L x 375W x 710H мм (170 kg)

    冷却
    CL 7020
    CL 7050
    CL 7100


    风冷
    水冷(水流< 1L/min)
    水冷(水流< 3L/min)

    功率
    CL 7020
    CL 7050
    CL 7100


    220V / 50Hz, 10А, 不超过1500 VA
    220V / 50Hz, 10А, 不超过 1800 VA
    380/220V, 50Hz, 10А, 不超过 3500 VA

    气体

    1 premix cylinder

    控制接口

    RS 232, DOS/Windows



     

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