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    晶圆激光刻号机

    库       存:

    3

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-光刻设备-其它光刻设备

     晶圆刻号打码机
     
    产品介绍
    是专业化的晶圆激光刻号打码专用设备,适用于2-8英寸晶圆的软打标、硬打标作业。
    支持OCR字符和点阵字符,
    适用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的软打标、硬打标。
    全自动生产 可加工2〞-  6〞、4〞-  8〞、8〞- 12〞晶圆
    工业级激光器,稳定可靠,免维护
    光束质量好,标识精细,可读性好
    操作界面友好,使用方便 ,
    无需外接水冷机
     
    应用范围:
    2-8英寸晶圆的软打标、硬打标
    适用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的刻号、打码。
    技术规格                             项目                          单位                           数值
    最大加工尺寸                  晶圆尺寸                       inch                           6英寸
    激光器功率                      激光器出口处                w                               20瓦
    激光器波长                      红外光纤激光器             nm                          1064纳米
                                          定位精度                       mm                          0.05毫米
                                           重复精度                       mm                         0.02毫米
    振镜                                最大扫描速度                mm/s                       7000毫米/秒
                                           振镜类型                      数字/模拟                 高速数字式振镜
                                           最大负载                      Kg                            1.5千克
    协作机械手                      最大臂长                      mm                           400毫米
                                           重复精度                      mm                          正负0.03毫米
                                           Z向行程                        mm                         210微米
                                           电源                             AC                   两相220~240V 50HZ
                                           最大耗电量                   Kw                           1.5千瓦
                                           单独接地电阻                Ω                             小于4欧
                                           共用接地电阻                Ω                             小于1欧
                                           压缩空气供给压力         MPa                         0.5~0.8兆帕
                                           厂务真空供给                Kpa                         -0.6千帕
    其他规格                          排风口口径                   mm                           50毫米
     

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