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    厚膜&薄膜电路激光蚀刻机 盛雄激光

    产品品牌

    盛雄激光

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-广东省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:盛雄激光

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-刻蚀设备-其它刻蚀设备

    厚膜&薄膜电路激光蚀刻机 盛雄激光
          型号:SC-K600
      

     

    银浆、ITO蚀刻样品:

    2016042814421692573.jpg

     


    行业应用:

    1、电阻式、电容式触摸屏银浆线路蚀刻、修复。

    2、ITO及各类金属导电膜线路激光蚀刻。

    3、PCB行业薄膜电路光刻掩膜板激光蚀刻成型。

    4、太阳能光伏硅基板薄膜电路蚀刻。

     


    机器优点:

    1、激光蚀刻为干式蚀刻,加工制程简单,所有加工均由软件自动控制,产品一致性高,良率高达99%。

    2、最小蚀刻线宽20μm,支持银浆线路和ITO一次性同时蚀刻,轻松实现单层多点电容屏sensor线路蚀刻。

    3、CCD视觉自动寻靶,一次性可加工650mm×550mm范围,拼接精度±3μm。

    4、支持多种视觉定位特征,500万像素单点抓靶时间小于1秒钟,克服了印刷变形过大导致激光蚀刻偏位的问题,定位精度±3μm。

    5、激光蚀刻机5万小时无耗材,免维修,使用成本低,替代黄光制程。

     


    技术规格参数

     

    序号 项目 技术参数
    光学单元
    1 激光器类型 532,1064nm(纳秒&皮秒)可选
    2 激光功率 20W
    3 光束质量 M²<1.3
    4 聚焦方式&加工头数 平场聚焦镜、单头
    5 最小聚焦光斑直径

    Ф18μm

    激光加工性能
    6 加工速度 1000~4000mm/s可调
    7 最小蚀刻线宽 20μm
    8 蚀刻线宽精度 ±1.5μ
    9 激光单次最大工作范围

    130mm×130mm,20μ线

    170mm×170mm,35μ线宽

    10 激光蚀刻最大工作范围 650mm×550mm任意自动拼接
    11 激光蚀刻线路拼接精度 ≤±3μm
    机械单元
    12 机床结构 立柱&龙门式
    13 机床运动轴数&种类  最多8轴,  X,Y,  Z, & θ轴
    14 平台最大行程&速度 650mm×550mm,800mm/s
    15 运动平台重复精度 ≤±1μ
    16 运动平台定位精度 ≤±3μ
    软件控制单元
    17 激光加工&平台控制 Strongsoft, Strongsmart
    18 加工文件导入格式 Dxf, Plt, DWG, Gebar
    19 CCD视觉定位软件  AISYS Vision
    20 CCD视觉定位精度 ≤±3μm
    电气单元
    21 真空系统 真空发生器
    22  除尘&集尘系统 离心式风机
    安装环境
    23 整机供电&稳压器功率 220V\380V,5KW
    24 压缩空气压强 ≥0.6MPa
    25 无尘室等级 10000
    26 地面承重 2T/m²

     

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