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    PlasmaPro 100 Cobra

    产品品牌

    牛津

    库       存:

    1

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

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    品牌:牛津

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-刻蚀设备-其它刻蚀设备

     PlasmaPro 100系列刻蚀和沉积设备可安装多种衬底电极,能够在很宽的温度范围内进行工艺,具有200mm单晶圆和多晶圆批处理能力,该工艺模块可提供具有高度均匀,高产量和高精度的工艺。
    • 电极的适用温度范围宽,-150°C至400°C

    • 兼容200mm以下所有尺寸的晶圆

    • 快速更换到不同尺寸的晶圆工艺

    • 购置成本低且易于维护

    • 紧密的设计,布局灵活

    • 实时清洗和终点监测

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