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    日本Certas WING 化学气体干法刻蚀机

    产品品牌

    日本Certas

    库       存:

    1

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:日本Certas

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-刻蚀设备-其它刻蚀设备

     
    日本Certas WING 化学气体干法刻蚀机

    Certas Wing化学气体干法刻蚀机
    详细介绍

    “Certas WING”设计用于加工300mm晶圆,是Certas的第二代系统。这是一种环保,高产量的气体化学蚀刻系统,可以在不使用清洗液的情况下进行表面蚀刻和清洗。与湿式清洁相比,已经完全干燥的处理单元不使用化学品,不需要昂贵的废物处理设备,并且具有改进的可维护性。它消除了水印,并提供了各种氧化膜蚀刻的独特选择比例,细微的界面清洁控制,与TEL清洁系统一起使用时具有更高的灵活性。它支持从批量生产到下一代开发的广泛应用。

    特征

    独特的氧化膜选择性蚀刻和气体化学品预处理

    新的腔室设计实现了高吞吐量(大约两倍)和小占用空间

    无等离子处理可实现耗材的高正常运行时间和低成本

    应用

    氧化硅膜的蚀刻和回蚀

    硅触点预清洗

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