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    日本Certas Leaga 化学气体高效刻蚀系统

    产品品牌

    日本Certas

    库       存:

    1

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:日本Certas

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-刻蚀设备-其它刻蚀设备

     
    日本Certas Leaga 化学气体高效刻蚀系统
     
    详细介绍

    Certas LEAGA是一种高效率的系统,除了Certas WING的基本性能之外,还可以满足单个平台上的多个流程需求。针对当前和下一代设备的大量生产,LEAGA具有易于配置的主机,可以进行优化,以匹配所需的应用程序。扩展了Certas系列的独特工艺技术,现在可以控制多种类型氧化硅薄膜中的蚀刻选择性,从非选择性到高度选择性,为从大批量生产到下一个广泛应用的关键接口提供控制一代发展。

    特征

    独特的干气去除选择性范围广的选择氧化膜

    集群双晶圆腔室设计提供灵活的模块配置

    应用

    二氧化硅膜去除和回蚀

    在硅接触之前进行预清洁

     

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