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    SFQ\DYX\ECD湿化学工艺设备

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    1

    产       地:

    中国

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    主营:半导体专用设备研究开发、电子元件设备研究开发、光电器件设备研...

    地区:中国-北京市

    地址:北京经济技术开发区泰河三街1号

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    SFQ系列湿法清洗设备 

    SFQ/SFQZ系列湿法设备广泛应用于集成电路、光电子器件、MEMS及分立器件、半导体材料加工、太阳能光伏等领域,用于各种半导体基片及类似材料制造过程中湿化学处理工艺,有手动、半自动及全自动三种配置。

    六大专有技术

    湿法清洗设备系统集成技术

    /液自动传输及控制技术

    材料与化学工程防护技术

    温度传递及精确控制技术

    晶片自动传输及自动控制技术

    溶液流场均匀性控制技术

    主要技术特点:

    系统结构:设计紧凑、洁净、防腐、安全、多种式样机架可供选择

    控制方式:采用高性能PLC或工控机实现集中控制,结合单元功能控制简化操作

    槽体配置:材料:NPPPVDFPTFE、石英、PVC、不锈钢等多种材料
       
       功能:恒温控制(加热
    /制冷)、循环、过滤、自动补液、抖动、旋转、超声/兆声、溢流、快排、鼓泡、干燥等

    定制设计:根据用户要求提供工艺配置及技术支持

    ECD系列:


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