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    华林科纳单片式清洗装置

    产品品牌

    华林科纳

    库       存:

    50

    产       地:

    中国-江苏省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

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    主营:半导体清洗设备、太阳能光伏设备、光电子器件设备、液晶湿制程设...

    地区:中国

    地址:江苏苏州工业园区启月街

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    品牌:华林科纳

    型号:

    所属系列:半导体清洗设备-标准清洗-单片自动清洗机

     TK 装 置的 优势 (例)

    1) 大幅提高成品率

    ・微粒去除性能可对应25纳米级装置。

    40 個/W (particle size 0.06um)

    ・2 流体溅射具有很高的尘埃除去性能

    ・蚀刻的面内均一性良好:2 %以下(氧化膜在希HF处理的情况)

    ・特にエピ成長前の洗浄に高影響(メタル完全除去、ゴミ極小)

    2)  価格 优势

    ・MTK的价格是大日本、TEL等企業的同样装置价格的一半。

    3 )运 营 成本

    ・药液循环使用

    ・纯水消費量:1 Liter/min (one chamber)

    3)  設置 面積 小

    ・2~3 m 2 (2 chamber) (参考 :水槽式: 13m2 )

    ・1.5~2 m 2 (1 chamber)

    4)  臭氧 水 清洗

    ・ 卓越的尘埃、有机物、金属除去性能( 臭氧浓度:最大30ppm)

    ・ 使用臭氧水、可省去硫酸、盐酸、双氧水

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