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    清洗机

    规格型号:

    ICP120

    发货期限:

    3个月天

    运费说明:

    :8000.00  

    库       存:

    1

    产       地:

    英国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

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    品牌:

    型号:ICP120

    所属系列:半导体清洗设备-标准清洗-多片自动清洗机


    Ø 铝制工作腔室: 229 mm 高 X 330 mm宽 X 483 mm 深(内部尺寸) 

    Ø 腔室观察窗口

    Ø 高电导真空接口及隔离阀

    Ø 600 Watt 风冷13.56 MHz 射频发生器

    Ø 两路质量流量控制器 (MFC), 最大流速500 scc/m

    Ø 保护性气体回填功能

    Ø 控制计算机

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