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北大软微学院微纳米中心

发表于:2016-03-01  作者:pku-wx  关注度:3110

主要技术服务内容:8寸及以下样片精密减薄抛光
   
     北京大学微电子系在中国微电子产业的发展过程中有着辉煌的历史。在20世纪七十年代研制出我国第一块三种类型包括硅栅N沟道1K MOS DRAM,是我国微电子科学技术史上的重要里程碑之一,获全国科学大会奖,是中国最早的大规模集成电路的发源地之一。
北大软微学院微纳米加工中心依托北京大学微电子学研究院科研技术力量建立,立足长三角地区,以科研带动产业发展。中心拥有半导体材料减薄抛光和检测国际先进设备,可承接Si,SiC, GaAs, InP,CZT, MCT 等多种半导体材料加工测试,加工样品尺寸为8寸、6寸及4寸。

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